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지올, 주사전자현미경 JSM-IT710HR/JSM-IT210 출시

관측 및 분석 작업이 모두 가능한 혁신적 장비를 통한 효율성 증대 효과

2023-07-13 11:20 출처: JEOL Ltd. (도쿄증권거래소 6951)

도쿄--(뉴스와이어)--지올(JEOL Ltd., TOKYO: 6951, 사장 겸 최고경영자: 오이 이즈미(Izumi Oi))이 이달 23일 주사전자현미경(Scanning Electron Microscopes, SEM) JSM-IT710HR 및 JSM-IT210를 출시한다고 발표했다.

주사전자현미경은 기초 연구, 생산 라인, 품질 관리는 물론 연구개발에 이르기까지 다방면으로 활용되는 현미경으로, 금속, 반도체, 배터리, 생명공학, 폴리머 등 여러 분야에서 사용된다. 또한 관찰이나 분석에 대한 전문 지식 없이도 성분 정보를 더 쉽게 확인할 수 있는 SEM에 대한 수요가 계속해서 늘고 있다.

이번 출시되는 모델 중 JSM-IT710HR은 전자총 안정성을 개선했으며, 또 다른 모델인 JSM-IT210에는 5축 모터 제어 시료대를 도입했다. 두 모델 모두 관찰 및 분석을 위한 자동 측정 기능이 탑재되면서 SEM의 성능을 전반적으로 크게 끌어올렸다. 이들 모델은 최근 늘어나고 있는 자동 측정 기기의 시장 수요를 충족하고, 측정 작업의 효율성 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

◇ 주요 특징

1. ‘심플 SEM(Simple SEM)’을 통한 SEM 이미지 정보 생성 및 EDS 분석 자동화

심플 SEM 기능은 SEM 이미지 정보 생성 조건과 시야각만 설정하면, 자동으로 SEM 이미지와 에너지 분산형 X선 분광법(EDS) 분석 결과를 보여주는 기능이다. 이를 통해 분석 등 측정 과정의 효율성 증대에 기여할 수 있을 것으로 기대된다.

2. 즉석 3D 이미지를 구현하는 ‘라이브 3D(Live3D)’

SEM 관측으로 불균일한 부위와 깊이 정보를 파악하면서 즉석에서 3D 이미지를 구현할 수 있다.

3. 동일 영역에 대해 기존 시스템 대비 5배 큰 광학 이미지를 제공하는 ‘스테이지 내비게이션 시스템 LS(Stage Navigation System LS)’

스테이지 내비게이션 시스템 LS는 동일 영역에 대해 기존 시스템(직경 약 159mm) 대비 5배 큰 광학 이미지를 얻을 수 있는 기능이다. 이 기능을 활용해 관측 표본에 대한 광학 이미지를 수집할 수 있으며, 이미지를 클릭하기만 하면 원하는 관측 영역으로 이동할 수도 있다.

4. 저진공 상태에서도 고화질 표면 정보를 수집할 수 있는 ‘저진공 하이브리드 보조 전자 검출기(Low-vacuum Hybrid Secondary Electron Detector , LHSED)’

저진공 상태에서도 S/N비가 높고 상세한 표면 정보를 포함한 이미지를 제공하는 검출기로, 전자 및 광자 신호 모두 수집할 수 있다.

5. 5축 모터 제어 시료대

표준 설계로 5축 모터 제어 시료대를 채택함으로써 불균일한 표본의 SEM 이미지 정보 생성 및 EDS 분석을 더욱 편리하게 수행할 수 있다.

6. 전자총 안정성 개선(JSM-IT710HR)

전자 빔 안정성을 더욱 개선해 여러 표본을 올려놓을 수 있는 시료대에 장시간에 걸쳐 계속해서 빔을 자동 발사할 수 있다.

◇ 연간 판매량 목표

JSM-IT710HR: 연간 150대

JSM-IT210: 연간 250대

지올(JEOL Ltd.)

3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan

사장 겸 최고경영자 오이 이즈미(Izumi Oi)

(종목 코드: 6951, 도쿄증권거래소 프라임 시장)

www.jeol.com

사진/멀티미디어 자료: https://www.businesswire.com/news/home/53449721/en

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웹사이트: http://www.jeol.com
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